미세공정에 따른 변화와 문제

공정이 점점 미세화 되고 있습니다.

10나노 공정 7나노 공정 이런 이야기가 많이 들리는데 10나노 7나노는 무엇을 의미할까요?

10나노는 회로 선폭을 이야기합니다.

이렇게 미세화 되면 반도체에 어떠한 변화가 생길까요?

이렇게 스케일링이 작아지면

Lg(게이트 길이), Tox(절연체 두께), Vd(전압) 등이 1/k배로 작아집니다.

여기서 전류 또한 1/k배로 작아지게 됩니다.

Switching frequency는 k배로 증가하게 됩니다.

이건 역으로 딜레이는 1/k배로 감소한다는 뜻입니다.

Power는 배로 작아집니다. (전류, 전압 둘다 1/k배이니까)

하지만 여기서 문제들이 생기게 됩니다.

먼저 Short-Channel Effect입니다.

DIBL, GIDL, Punch through 등이 있습니다.

이와 같은 문제점들이 있습니다.